Описание

Ключевые особенности:

• Широкий выбор возможностей управления параметрами камеры

• Множество вакуумных насосов для различных требований к уровню вакуума в загрузочном шлюзе и печи -безмасленные, пластинчато-роторные, турбомолекулярные

• Большое смотровое окно для обеспечения обзора процесса и удобства обслуживания камеры

• Опциональный ПЛК для быстрой переналадки при помощи удобного программного обеспечения

• Прочная конструкция камеры гарантирует длительный срок эксплуатации и стабильность проводимых процессов

• Опциональное устройство осушки газа с одной или двумя колоннами для снижения уровня влажности и уровня кислорода

• Модульность конструкции обеспечивает возможность её дооснащения в случае необходимости

• Два типоразмера камеры: 48" и 56".

 

Технические характеристики

Расположение загрузочного шлюза и печи:

• Слева, справа или на задней стенке камеры

Подогреваемые области шлюза и камеры:

• На стенках или полках

Температура нагрева стенок или полок:

• Стандартно 125°С или 200°С
• Опционально >200°С по запросу

Отображение уровня кислорода:

• От 0 до 10ОО РРМ или в процентах %

Отображение уровня влажности:

• От 0 до 150 РРМ или в °С точки росы

Мониторинг уровня аргона и гелия:

• в процентах %

Электропитание установки:

• От 208 в до 240 в переменного тока 50/60 Гц, одна фаза, 30 А (40 А если две печи)

Давление атмосферного газа для камеры:

• 60 psi (415кПа)

Вода для охлаждения:

Требуется охлаждение если используется печь с температурой нагрева 200°с и выше

Загрузочные шлюзы и печи:

• Загрузончый шлюз: 355x195x195 мм
• Загрузончый шлюз: 465x290x265мм
• Печь с нагревом стенок: 355 х195x195 мм
• Печь с нагревом стенок: 465x290x265мм
• Печь с нагревом полок: 465x290x265мм

Длина полки:

• 455 мм

Габариты камеры 48":

• 1219х 965x914 мм (ШхГхВ)

Габариты камеры 56":

• 1423х 965х 914мм (ШхГхВ)

Масса камеры:

• Зависит от установленного оборудования