Для улучшенного пропорционального уменьшения размеров устройства необходимы более тонкие, более качественные оксиды с низкой утечкой и высокой надежностью, меньшие температуры обработки и более жесткий контроль технологического процесса. Благодаря химии радикального окисления, Applode Vantage RadOx RTP может выращивать высокоплотный высококачественный оксид при низких температурах.

Инновационная технология системы разрушает барьеры пропорциональной миниатюризации для критических стадий окисления, таких как слоиконтактных площадок памяти, дорожки при узкощелевой изоляции, формирование промежуточного оксидного слоя, боковых стенок и многослойных металл-оксидных полупроводниковых затворов. Благодаря жесткому контролю тепловой мощности и операционному мониторингу, RadOx обеспечивает превосходное качество окисления с использованием ведущей в отрасли камеры Radiance на высокопроизводительной, проверенной в производственных условиях платформе Vantage.